晶盛机电：8英寸硅外延炉和6英寸碳化硅外延炉通过客户验收

2020-09-04 15:54:10 来源：

日前，晶盛机电外延设备研究所自主研发的8英寸单片式硅外延炉和6英寸碳化硅外延炉（4英寸工艺）通过客户验收。同时，晶盛自主研发的6英寸碳化硅外延炉4英寸工艺也获得客户验收，现进行6英寸工艺调试，目前工艺验证顺利进行。
来源：证券时报